XPG - クロスローラ式Z軸ステージ - Misumi

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会社名

Misumi

説明

XPG - クロスローラ式Z軸ステージ

部品表

XPG60

PN

型番

XPG60

MAT

材質

アルミ合金

ST

表面処理

黒アルマイト

MATMH

マイクロメータブラケット材質

W-10エ具

A

60

mm

STG

ステージ面

60x60

mm

DIST

移動量

+/-6.5

mm

MR

マイクロメータ最小目盛

10

microns/Scale

AL

耐荷重

49.0 {5.0}

N(kgf)

S

移動精度 - 真直度

3

microns

P

移動精度 - ピッチング(秒)

25

Y

移動精度 - ヨーイング(秒)

15

MLRP

許容モーメン-ピッチング

5.2

N*m

MLRY

許容モーメン-ピッチング

4.3

N*m

MLRR

許容モーメン-ピッチング

5.5

N*m

MRP

モーメント剛性 - ピッチング

0.12

arcsec/N*cm

MRY

モーメント剛性 - ヨーイング

0.11

arcsec/N*cm

MRR

モーメント剛性 - ローリング

0.07

arcsec/N*cm

TARE

自重

0.25

kg

AC

付属品 (Type M-L)

SCB4-6, (4 本)

SCB4-6, (4 本)

T

20

mm

T1

6.5

mm

BS

距離 (B+/-S)

20 +/- 6.5

mm

E

12.0

mm

F

18.5

mm

D

13.0

mm

G

13.0

mm

P1

P

10

mm

Q

14.5

mm

K

42.5

mm

J

11.3

mm

X

50

mm

DD1

d1

4.5

mm

DD2

d2

8.00

mm

LL

l

4.0

mm

ALT1

マイクロメータ位置

ALT2

クランプ強化

ALT3

マイクロメーターヘッド無